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Zeiss Auriga聚焦离子束场发射扫描双束电镜
电镜中心     2018/04/17

   

技术指标:

SEM分辨率1.0nm @ 15kV

1.9nm @ 1kV

放大倍数Mag.:12 ~ 1000,000x

加速电压EHT:0.1 ~ 30kV

 FIB分辨率Resolution:2.5nm @ 30kV

放大倍数Mag.:300×500,000×

加速电压EHT:1.0 ~ 30Kv

 

主要功能:

场发射扫描电镜(SEM)

3D背散射电子取向成像系统(EBSD)

聚焦离子束系统(FIB)

 

联系人:

贾佳琦  电话:023-65106001 地址: 重庆大学综合实验大楼103室


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