技术指标:
分辨率:
高真空(二次电子3.0nm at 30kv,8.0nm at 3kv)
低真空(低真空二次电子)﹕3.5 nm at 30 kV
放大倍数:2.5 to 1000000×
真空系统:高真空<9*10 -3Pa,
加速电压0.2kV to 30Kv
电子束电流1pA—2uA
样品室内部尺寸:230mm(width)×148mm(depth)
样品台:全自动控制
主要功能:
金属、非金属、生物等各种样品的微观形貌分析,微区物质成分分析,化学元素衬度像、晶粒取向衬度像分析等
联系人:
黄天林 覃丽禄 电话:023-65106001地址: 重庆大学综合实验大楼115室