材料学院中心实验室的Zeiss Auriga SEM-FIB双束电镜 是一台集扫描电镜和聚焦离子束技术于一体的高性能样品加工测试平台。目前双束电镜开展的测试服务有超薄透射样品制备、三维原子探针样品制备、三维重构、微纳尺度样品刻蚀加工等加工服务和基本扫描测试以及晶体取向标定、能谱成分分析等。
信号探测器配置如下：
电子束系统 |
特点 |
获取信息 |
探头名称 |
特点及获取信息 |
探测器齐全，可以一次完成多种扫描任务； 配备防漏磁极靴，可以检测弱磁性样品； 配备CC气针，可以检测低导电性样品 |
二次电子 |
In lens |
内置镜筒，对表面形貌极敏感 |
SESI |
景深大，形貌衬度优良 |
背散射电子 |
BSD |
成分衬度，取向衬度，电子通道衬度优良 |
EsB |
内置镜筒，低电压下可获得良好成分信息 |
特征X射线 |
EDS |
电制冷能谱，窗口大，工作效率高 |
背散射电子衍射 |
EBSD |
空间分辨率0.1µm,角分辨率0.5度。 |
离子束系统 |
Ga+离子束 |
FIB |
微纳级精细加工，最小加工精度40nm |
Pt气体源 |
GIS |
沉积Pt金属层，保护样品表面 |
钨针 |
机械手 |
提取样品 |
为更好地服务师生，现开始进行操作员培训，由于场地及机时有限，主要面对需要大量使用该台扫描电镜的师生进行培训，每位导师可推荐1~2名学生。培训采用随报随学模式，详情可在培训QQ群中进行咨询。有需要的人员扫描下图二维码进QQ群进行报名，进群时需要验证，请务必按以下格式备注姓名-导师-学院，否则将无法通过验证。
为了提高FIB设备的使用效率以及方便新老用户的使用，双束电镜在非工作日时段实行会员制度。加入FIB会员组的课题组享受以下服务：
优先培养一到两名操作员；
每周享有一个固定时段使用FIB；
全年节假日全天开放使用；
每年保证不少于40周的使用时间（一年自然周为52周）。
欢迎大家到实验室实地考察，我们提供多种灵活会员组合方式。联系方式：贾老师 TEL：65106001，QQ：121423153。
